產(chǎn)品型號(hào)：5P 1P 3HP 2P 6匹 （更多型號(hào)詢價(jià),請(qǐng)您來(lái)電咨詢我們）
應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對(duì)準(zhǔn)的冷卻系統(tǒng)
機(jī)組類型：箱型風(fēng)冷式冷水機(jī)、箱型水冷式冷水機(jī)、開放式冷水機(jī)
簡(jiǎn)要介紹：【曝光機(jī)專用冷水機(jī)】是我司專為紫外線曝光機(jī)配套設(shè)計(jì)的一款高性能瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)工業(yè)冷水機(jī)組，大多客戶因廠房條件限制一般采用風(fēng)冷散熱形式最多，由于機(jī)型小所需散熱風(fēng)量比較小可直接放在車間使用，當(dāng)然如果客戶不希望【曝光機(jī)專用冷水機(jī)】的散熱風(fēng)影響車間環(huán)境溫度，也可以接足夠大尺寸的風(fēng)管將曝光機(jī)冷水機(jī)散熱風(fēng)以最近的距離排到室外也可。
銷售經(jīng)理：13689526478 郵箱：www@hansind.com 電話：0755-29861112 傳真：0755-29861126
【曝光機(jī)專用冷水機(jī)】是我司專為紫外線曝光機(jī)配套設(shè)計(jì)的一款高性能瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)工業(yè)冷水機(jī)組，大多客戶因廠房條件限制一般采用風(fēng)冷散熱形式最多，由于機(jī)型小所需散熱風(fēng)量比較小可直接放在車間使用，當(dāng)然如果客戶不希望【曝光機(jī)專用冷水機(jī)】的散熱風(fēng)影響車間環(huán)境溫度，也可以接足夠大尺寸的風(fēng)管將曝光機(jī)冷水機(jī)散熱風(fēng)以最近的距離排到室外也可。
偶爾有的客戶會(huì)指定需要水冷式結(jié)構(gòu)或風(fēng)冷分體結(jié)構(gòu)（這兩種需要客戶廠房外有地方放冷卻水塔或室外機(jī)組才可），機(jī)型一般也不大，使用1P、2HP、3匹、5P【曝光機(jī)專用冷水機(jī)】居多。
紫外線曝光機(jī)內(nèi)部冷卻系統(tǒng)一般用直冷式和間冷式兩種
直冷式一般因要配置棉芯過(guò)濾器需要配置高揚(yáng)程高壓力的水泵和過(guò)水部件均需要使用304不銹鋼材質(zhì)以確保水質(zhì)和循環(huán)水流量能達(dá)到要求；
間冷式因曝光機(jī)內(nèi)部已經(jīng)配置用板式交換器循環(huán)水泵與保溫水箱，對(duì)曝光機(jī)專用冷水機(jī)的要求就比較低些。
能瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)曝光機(jī)專用冷水機(jī)在半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對(duì)準(zhǔn)的冷卻系統(tǒng)中用著廣泛應(yīng)用。
紫外線曝光機(jī)是指通過(guò)開啟燈光發(fā)出UVA波長(zhǎng)的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的表面上的設(shè)備。
UV燈構(gòu)造
帶托盤的晶片工作臺(tái)
配CCD鏡頭的顯微鏡
監(jiān)視器
掩膜夾具
UV燈透鏡
UV燈鏡片
UV燈電源系統(tǒng)
操作控制器
350W UV燈
晶片臺(tái)
基底尺寸 標(biāo)準(zhǔn)尺寸 最大至4英寸；可選最大至6英寸；
托盤 標(biāo)準(zhǔn)尺寸 最大至4英寸；可選最大至6英寸；
活動(dòng)范圍：X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
擠入補(bǔ)償 Air bearing型
Z軸滑動(dòng) 手動(dòng)
真空泵 無(wú)油真空泵
掩膜臺(tái)
掩膜夾具類型 真空吸附和機(jī)械夾取
均勻光束大小 4.25“ X 4.25“
支持接近式曝光，各種接觸式（真空接觸、軟接觸、硬接觸等）曝光
接觸式曝光特征尺寸：
0.35 um@深紫外DUV：
0.5um@近紫外NUV；
0.6um@紫外UV；
接近式曝光特征尺寸：
1um @ Gap為20 um；
2um @ Gap為50 um；
紫外線曝光機(jī)用途
更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長(zhǎng)選擇，出射光強(qiáng)范圍: 8mW/cm2~40mW/cm2
支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。
常見曝光機(jī)舉例：MYCRO美國(guó)制造的恩科優(yōu)（N&Q）紫外曝光系統(tǒng)，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統(tǒng)成功地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對(duì)準(zhǔn)的應(yīng)用。
一、概述
二、瀚信德品牌高品質(zhì)風(fēng)冷式曝光機(jī)專用冷水機(jī)組又名
三、瀚信德品牌高品質(zhì)風(fēng)冷式曝光機(jī)專用冷水機(jī)組的電器自控部分
四、風(fēng)冷式工業(yè)曝光專用冷水機(jī)組的結(jié)構(gòu)組成與特點(diǎn)
1、風(fēng)冷式曝光機(jī)冷水機(jī)組一般為整體機(jī)，及蒸發(fā)器、壓縮機(jī)和冷凝器做在一起。五、風(fēng)冷式曝光專用冷水機(jī)的工作原理！詳情請(qǐng)點(diǎn)擊查看參考風(fēng)冷式冷水機(jī)工作原理
六、瀚信德高品質(zhì)曝光專用冷水機(jī)配置簡(jiǎn)介
七、瀚信德高品質(zhì)曝光專用冷水機(jī)組特點(diǎn)
八、瀚信德高品質(zhì)曝光專用冷水機(jī)報(bào)價(jià)
九、瀚信德曝光專用冷水機(jī)組 售后服務(wù)
十、瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)風(fēng)冷式曝光專用冷水機(jī)技術(shù)參數(shù)請(qǐng)點(diǎn)擊查看參考【風(fēng)冷式冷水機(jī)參數(shù)】。
十一、瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)水冷式/開放式/風(fēng)冷式曝光專用冷水機(jī)技術(shù)參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系我們索取，我們將謁誠(chéng)為您服務(wù)。
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